在光刻機(jī)中，衍射是一個(gè)常見的問題，它會(huì)影響到圖案的精度和清晰度。因此，為了避免衍射的影響，需要采取一些措施。

首先，要選擇合適的光源。光源的波長(zhǎng)和光強(qiáng)度都會(huì)對(duì)衍射產(chǎn)生影響。一般來(lái)說(shuō)，波長(zhǎng)越短，光強(qiáng)度越強(qiáng)，衍射就越小。因此，在選擇光源時(shí)，應(yīng)該考慮到這些因素。

其次，需要優(yōu)化光刻機(jī)的光路設(shè)計(jì)。光路設(shè)計(jì)的好壞也會(huì)影響到衍射的程度。為了減少衍射，可以采用一些光學(xué)元件，例如衍射光柵、透鏡等，來(lái)改善光路的設(shè)計(jì)。

最后，還需要注意光刻機(jī)的使用環(huán)境。光刻機(jī)應(yīng)該放置在干燥、穩(wěn)定的環(huán)境中，以避免因溫度、濕度等因素引起的光學(xué)變化，從而影響到衍射的程度。

綜上所述，避免衍射的關(guān)鍵在于選擇合適的光源、優(yōu)化光路設(shè)計(jì)和注意使用環(huán)境。只有在這些方面都做到了最優(yōu)化，才能在光刻機(jī)中實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的圖案制作。